系統(tǒng)的光路目前已經(jīng)是為清潔度專門設(shè)計(jì)，特有的自動(dòng)偏光能在掃描過程中直接快速準(zhǔn)確識(shí)別反光和非反光顆粒。

• 自動(dòng)偏光法是根據(jù)反光與非反光顆粒的折射率不同，在偏振片下呈現(xiàn)出的明亮和黑暗，結(jié)合軟件的灰度判定來直觀準(zhǔn)確地判斷反光于非反光顆粒的。這種判定方法不受顆粒形狀的影響，只要是亞光顆粒，在偏振下就是全黑色的，而其余的顆粒就是反光顆粒。

• 其他公司則使用自然光法，對(duì)于球狀顆粒的誤判性很高。其原因是，球狀亞光顆粒在自然光下會(huì)呈現(xiàn)局部黑暗，局部明亮的雙重性，對(duì)于僅僅依靠灰度來識(shí)別的軟件而言，難以判定其究竟是反光還是亞光顆粒。

Modified diaphragm module of 11888738 (Stand top DM6000M, Cleanliness Expert)

and 11888737 (Stand top DM4000M, Cleanliness Expert)